[实用新型]一种中频磁控溅射系统有效
| 申请号： | 201620196465.3 | 申请日： | 2016-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN205590791U | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 王进东 | 申请（专利权）人： | 江苏宇天港玻新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京君华知识产权代理事务所(普通合伙) 11515 | 代理人： | 李海峰 |
| 地址： | 223100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种中频磁控溅射系统，其包括第一靶材、第二靶材、氩气气板和氧气气板，所述第一靶材和所述第二靶材为孪生靶材，所述氩气气板为两节二元式布气方式，其输出前端由第一质量流量计控制氩气总流量，其输出末端均匀分为四段出气，所述氧气气板均匀分为三段，分别由三个质量流量计独立控制，所述氩气气板和所述氧气气板的出气末端一体连接固定。本实用新型的中频磁控溅射系统，结构简单、镀膜质量高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 中频 磁控溅射 系统 | ||
【主权项】：
一种中频磁控溅射系统，其特征在于，包括第一靶材、第二靶材、氩气气板和氧气气板，所述第一靶材和所述第二靶材为孪生靶材，所述氩气气板为两节二元式布气方式，其输出前端由第一质量流量计控制氩气总流量，其输出末端均匀分为四段出气，所述氧气气板均匀分为三段，分别由三个质量流量计独立控制，所述氩气气板和所述氧气气板的出气末端一体连接固定。
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