[实用新型]石墨加热器加工旋转平台有效
| 申请号： | 201620186746.0 | 申请日： | 2016-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN205466065U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 王会敏;何京辉;曹祥瑞;颜超;程志;陈二星 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B25H1/08 | 分类号： | B25H1/08 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 黄辉本 |
| 地址： | 054001 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种石墨加热器加工旋转平台，涉及硅晶体生长设备技术领域。本实用新型包括旋转平台、固定底座、支撑管、两套轴承、支撑架，支撑管与固定底座固定相连，两套轴承分别固定于支撑管外上端和中部，两套轴承的内圈与支撑管的外壁固定相连，旋转平台与上端轴承的外圈固定相连，旋转平台上设有两个用于固定石墨加热器的长条孔，支撑架为两个，呈对称分设于支撑管的两侧，每个支撑架的上端与旋转平台的下表面固定相连，其下端与中部的轴承的外圈固定相连。其结构简单、操作方便，利于提高石墨加热器的加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 加热器 加工 旋转 平台 | ||
【主权项】：
一种石墨加热器加工旋转平台，其特征在于，包括旋转平台（1）、固定底座（5）、支撑管（6）、两套轴承（7）、支撑架（4），支撑管（6）与固定底座（5）固定相连，两套轴承（7）分别固定于支撑管（6）外上端和中部，两套轴承（7）的内圈与支撑管（6）的外壁固定相连，旋转平台（1）与上端的轴承（7）的外圈固定相连，旋转平台（1）上设有两个用于固定石墨加热器的长条孔（2），支撑架（4）为两个，呈对称分设于支撑管（6）的两侧，每个支撑架（4）的上端与旋转平台（1）的下表面固定相连，其下端与中部的轴承（7）的外圈固定相连。
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