[实用新型]氮气反应溅射制备CoCr/Sb极紫外多层膜人工晶体单色器有效
| 申请号： | 201620150760.5 | 申请日： | 2016-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN205562037U | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 朱京涛;朱圣明;金长利;朱运平 | 申请（专利权）人： | 苏州宏策光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/26 | 分类号： | G01J3/26 |
| 代理公司： | 北京高航知识产权代理有限公司 11530 | 代理人： | 赵永强 |
| 地址： | 215400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种合金CoCr和金属Sb作为膜层材料的极紫外多层膜人工晶体单色器，该单色器包括基底，其上面依次层叠有打底层、CoCr/Sb周期多层膜人工晶体及保护层，其中CoCr/Sb周期多层膜人工晶体由CoCr膜和Sb膜周期性构成。CoCr，Sb材料在极紫外波段的光学常数合适，CoCr/Sb多层膜人工晶体单色器有优异的光学性能。本实用新型精确控制CoCr与Sb的膜层厚度比，通过在工作气体中添入氮气减小了多层膜人工晶体的界面粗糙度阻止了膜层之间的相互扩散。利用氮气反应溅射制备的CoCr/Sb多层膜人工晶体单色器适用于荧光检测、等离子体诊断等极紫外波段的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 氮气 反应 溅射 制备 cocr sb 紫外 多层 人工 晶体 单色 | ||
【主权项】：
一种CoCr/Sb极紫外多层膜人工晶体单色器，其特征在于：该单色器包括基底(1)，其上面依次层叠有打底层(2)、CoCr/Sb周期多层膜人工晶体(5)及保护层(6)，其中CoCr/Sb周期多层膜人工晶体(5)由CoCr膜(3)和Sb膜(4)周期性构成。
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- 本实用新型涉及一种共溅射制备化合物Mo2C和化合物B4C作为材料组合的人工晶体X光单色器，该单色器包括基底，其上面依次层叠有打底层、共溅射Mo2C/B4C周期多层膜人工晶体及保护层，其中共溅射Mo2C/B4C周期多层膜人工晶体(5)由共溅射Mo2C膜(3)和B4C膜(4)周期性构成。本实用新型采用高熔点、相态稳定的共溅射化合物Mo2C作为多层膜人工晶体的吸收层，制作出共溅射Mo2C/B4C周期多层膜人工晶体用作单色器，克服了单质与B4C等传统多层膜人工晶体的热稳定性差的缺点。同时，在X光波段的共溅射Mo2C的光学常数和Mo接近，共溅射Mo2C/B4C周期多层膜人工晶体单色器保持了单质与B4C多层膜人工晶体较好的光学性能。因此，兼顾光学性能和热稳定性，适用于同步辐射光源、X光荧光分析等工作温度高的X光应用。
- 一种基于旋转滤光片原理的单色器-201610357236.X
- 缪同群;张声荣;伍志军;王志洲;刘宝星 - 上海新产业光电技术有限公司
- 2016-05-26 - 2016-07-20 - G01J3/26
- 本发明公开了一种基于旋转滤光片原理的单色器，包括入射光束准直系统、旋转滤光片、会聚成像系统和偏振器，偏振器设置在入射光束准直系统和会聚成像系统之间，会聚成像系统的出射光束上放置成像面，入射光束准直系统是由主反射镜和次反射镜组成的反射透镜组，透镜组设置在旋转滤光片的工作通道入口上；旋转滤光片由镀有窄带膜的镜片组成，旋转滤光片安装在精确旋转的镜框内；偏振器由镀有偏振膜的棱镜组成，将出射光束分为两束不同偏振方向的出射光束。本发明单色器具有较高光谱分辨率、较高的光通量以及光谱测量范围较大的优点，综合性能优异。
- 共溅射Mo2C/B4C人工晶体单色器及其制作方法-201610111541.0
- 朱京涛;朱圣明;金长利;朱运平 - 苏州宏策光电科技有限公司
- 2016-02-29 - 2016-06-22 - G01J3/26
- 本发明涉及一种共溅射制备化合物Mo2C和化合物B4C作为材料组合的人工晶体X光单色器及其制作方法，在超光滑的单晶硅片或玻璃基底上镀制打底层，在交替镀制共溅射Mo2C、B4C膜层形成Mo2C/B4C周期多层膜人工晶体。本发明采用高熔点、相态稳定的共溅射化合物Mo2C作为多层膜人工晶体的吸收层，制作出共溅射Mo2C/B4C周期多层膜人工晶体用作单色器，克服了单质与B4C等传统多层膜人工晶体的热稳定性差的缺点。同时，在X光波段的共溅射Mo2C的光学常数和Mo接近，共溅射Mo2C/B4C周期多层膜人工晶体单色器保持了单质与B4C多层膜人工晶体较好的光学性能。因此，兼顾光学性能和热稳定性，适用于同步辐射光源、X光荧光分析等工作温度高的X光应用。
- 分光传感器-201380023137.2
- 笠原隆;柴山胜己 - 浜松光子学株式会社
- 2013-05-08 - 2015-01-07 - G01J3/26
- 分光传感器(1A)包括：具有腔层(21)以及第1和第2镜层(22、23)的干涉滤光部(20A)；以及具有透过了干涉滤光部(20A)的光进行入射的受光面(32a)的光检测基板(30)。干涉滤光部(20A)包括与受光面(32a)对应的第1滤光区域(24)和包围第1滤光区域(24)的环状的第2滤光区域(25)。第1滤光区域(24)中，第1镜层(22)和第2镜层(23)之间的距离变化，第2滤光区域(25)中，第1镜层(22)和第2镜层(23)之间的距离固定。
- 分光传感器-201380023041.6
- 笠原隆;柴山胜己 - 浜松光子学株式会社
- 2013-05-08 - 2015-01-07 - G01J3/26
- 分光传感器(1A)具备：具有腔层(21)以及第1和第2镜层(22、23)的干涉滤光部(20A)；具有透过了干涉滤光部(20A)的光进行入射的受光面(32a)的光检测基板(30)。干涉滤光部(20A)包含：与受光面(32a)相对应的第1滤光区域(24)；以及包围第1滤光区域(24)的环状的第2滤光区域(25)。光检测基板(30)的垫片部(33a)以包含于第2滤光区域(25)的方式设置有多个，在第2滤光区域(25)，形成有用于使垫片部(33a)露出至外部的贯通孔(6)。
- 专利分类
