[实用新型]一种全自动双面镀膜机

摘要

本实用新型涉及的是一种全自动双面镀膜机。其主要由机械泵、分配阀、抽气室、电炉、扩散泵、水冷障板、高真空阀、镀膜室、立柱、加热器、吹气口、载物台和旋转泵组成；立柱平行设置在镀膜室内，吹气口设置在立柱上，立柱的上端连接加热器，载物台设置在立柱之间，载物台的下端连接旋转泵，镀膜室的下侧连接抽气室，电炉设置在抽气室的下端，扩散泵设置在电炉的上侧，水冷障板设置在扩散泵的上端，水冷障板的上端连接高真空阀；抽气室的一侧连接分配阀，分配阀的输出端同时连接抽气室和机械泵。采用上述装置后，结构简单，操作方便快捷，在保证生产质量的同时提高了生产效率，缩短了劳动时间，增加了经济效益。

主权项

一种全自动双面镀膜机，其特征在于：主要由机械泵(1)、分配阀(2)、抽气室(3)、电炉(4)、扩散泵(5)、水冷障板(6)、高真空阀(7)、镀膜室(8)、立柱(9)、加热器(10)、吹气口(11)、载物台(12)和旋转泵(13)组成；所述立柱(9)平行设置在镀膜室(8)内，所述吹气口(11)设置在立柱(9)上，所述立柱(9)的上端连接加热器(10)，所述载物台(12)设置在立柱(9)之间，所述载物台(12)的下端连接旋转泵(13)，所述镀膜室(8)的下侧连接抽气室(3)，所述电炉(4)设置在抽气室(3)的下端，所述扩散泵(5)设置在电炉(4)的上侧，所述水冷障板(6)设置在扩散泵(5)的上端，所述水冷障板(6)的上端连接高真空阀(7)；所述抽气室(3)的一侧连接分配阀(2)，所述分配阀(2)的输出端同时连接抽气室(3)和机械泵(1)。