[实用新型]一种纳米器件装配装置有效
| 申请号： | 201620106322.9 | 申请日： | 2016-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN205575625U | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 孙立宁;陈之超;杨湛;陈涛 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种纳米器件装配装置，其包括至少一个纳米机械手，所述纳米机械手包括三自由度运动的微动平台、设于微动平台上的微纳动夹持器以及控制微动平台实现三自由度运动的微纳压电电机。本实用新型在扫描电子显微镜样品真空室（10‑4 Pa）内集成纳米操作机械手，在实时观察的基础上实现了单个或者多个（小于等于四个）纳米操作机械手操作，每个纳米操作机械手具有三个自由度，可以进行复杂的三维纳米器件装配操作，操作的精度最高可以达到30纳米。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 器件 装配 装置 | ||
【主权项】：
一种纳米器件装配装置，其包括至少一个纳米机械手，其特征在于：所述纳米机械手包括微动平台、设于微动平台上的微纳动夹持器以及控制微动平台多方向运动的微纳压电电机。
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