[实用新型]真空镀膜机冷却装置有效
申请号: | 201620075741.0 | 申请日: | 2016-01-27 |
公开(公告)号: | CN205473951U | 公开(公告)日: | 2016-08-17 |
发明(设计)人: | 李卫东;孙婧;同建辉 | 申请(专利权)人: | 天津众伟科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/00 | 分类号: | C23C14/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300000 天津市北*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型提供一种真空镀膜机冷却装置,包括真空镀膜仓,真空镀膜仓的两侧均具有冷却单元,冷却单元包括多个间隔设置的外部管壳和多个间隔设置的内部管壳,外部管壳位于真空镀膜仓的外侧壁上,内部管壳位于真空镀膜仓的内侧壁上,外部管壳和内部管壳交错排部,相邻的内部管壳和外部管壳之间具有重叠区域,位于内部管壳和外部管壳重叠位置处的管壁上具有多个通孔,通孔使内部管壳和外部管壳之间贯通;位于最下部的外部管壳上具有进水口,位于最上部的外部管壳上具有出水口。本实用新型的有益效果是冷却效果好,水流利用率高。 | ||
搜索关键词: | 真空镀膜 冷却 装置 | ||
【主权项】:
真空镀膜机冷却装置,包括真空镀膜仓,其特征在于:所述真空镀膜仓的两侧均具有冷却单元,所述冷却单元包括多个间隔设置的外部管壳和多个间隔设置的内部管壳,所述外部管壳位于所述真空镀膜仓的外侧壁上,所述内部管壳位于所述真空镀膜仓的内侧壁上,所述外部管壳和所述内部管壳交错排部,相邻的所述内部管壳和所述外部管壳之间具有重叠区域,位于所述内部管壳和所述外部管壳重叠位置处的管壁上具有多个通孔,所述通孔使所述内部管壳和所述外部管壳之间贯通;位于最下部的所述外部管壳上具有进水口,位于最上部的所述外部管壳上具有出水口。
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