[实用新型]一种能控制电场强度的溅射镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种能控制电场强度的溅射镀膜装置，包括支撑脚、散热扇和计时装置，所述支撑脚的上方设有镀膜控制台，所述散热扇嵌入安装在镀膜控制台的左侧，且散热扇的右侧设有混合气体罐，所述混合气体罐的上方设有真空泵，所述镀膜控制台上设有气体控制阀，所述气体控制阀的右上方设有磁场显示表，所述镀膜控制台的上方设有微电脑处理装置，所述微电脑处理装置的左侧设有真空镀膜腔体，所述镀膜机体盖的底部设有镀膜靶材。本实用新型一种能控制电场强度的溅射镀膜装置利用微电脑装置实现智能化操作，开机后可以预定时间，可以手动控制磁场强弱和电极；防止机体过热，且可将不同气体输入。

主权项

一种能控制电场强度的溅射镀膜装置，包括支撑脚（8）、散热扇（7）和计时装置（15），其特征在于：所述支撑脚（8）的上方设有镀膜控制台（19），所述散热扇（7）嵌入安装在镀膜控制台（19）的左侧，且散热扇（7）的右侧设有混合气体罐（6），所述混合气体罐（6）的上方设有真空泵（5），所述真空泵（5）的上方设有第一单向阀门（4），且真空泵（5）的右侧设有混合气体输入管（3），所述镀膜控制台（19）上设有气体控制阀（9），所述气体控制阀（9）的右上方设有磁场显示表（10），所述磁场显示表（10）的右侧设有电极显示表（11），所述电极显示表（11）的下方设有调节转钮（12），所述计时装置（15）嵌入安装在镀膜控制台（19）的右侧，且计时装置（15）的下方设有报警装置（13），所述镀膜控制台（19）的右侧设有开关转钮（14），所述镀膜控制台（19）的上方设有微电脑处理装置（16），所述微电脑处理装置（16）的左侧设有真空镀膜腔体（17），所述真空镀膜腔体（17）的上方设有镀膜机体盖（1），且真空镀膜腔体（17）的内部设有加热片（2），所述镀膜机体盖（1）的底部设有镀膜靶材（18），所述散热扇（7）、报警装置（13）和计时装置（15）均与微电脑处理装置（16）电性连接。