[发明专利]离子源及其维护方法有效
申请号: | 201611249662.8 | 申请日: | 2016-12-29 |
公开(公告)号: | CN106601585B | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 张进伟;任焱 | 申请(专利权)人: | 聚光科技(杭州)股份有限公司 |
主分类号: | H01J49/14 | 分类号: | H01J49/14 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310052 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种离子源及其维护方法,离子源包括进样管、泵;空腔,所述空腔具有样品进口、离子出口和气体出口,所述进样管安装在所述样品进口处;推斥极,所述推斥极为底部具有适于样品进入的通孔的筒形电极;吸引极,所述吸引极为底部具有适于样品进入的通孔、侧部具有通孔的筒形电极,设置在所述推斥极的内部;环形灯丝,所述环形灯丝设置在所述推斥极和吸引极之间的空间内,且绕在所述吸引极的外围;电源,所述电源的输出端连接所述推斥极、吸引极和环形灯丝。本发明具有灯丝使用寿命长、信噪比高等优点。 | ||
搜索关键词: | 离子源 及其 维护 方法 | ||
【主权项】:
1.一种离子源,所述离子源包括进样管和泵;其特征在于:所述离子源进一步包括:空腔,所述空腔具有样品进口、离子出口和气体出口,所述进样管安装在所述样品进口处;未被电离的中性样品由气体出口抽出;推斥极,所述推斥极为底部具有适于样品进入的通孔的筒形电极;吸引极,所述吸引极为底部具有适于样品进入的通孔、侧部具有通孔的筒形电极,设置在所述推斥极的内部;杆状聚焦电极,所述杆状聚焦电极设置在所述空腔的腔体内,且处于所述吸引极和离子出口之间;环形灯丝,所述环形灯丝设置在所述推斥极和吸引极之间的空间内,且绕在所述吸引极的外围;电源,所述电源的输出端连接所述推斥极、吸引极和环形灯丝。
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