[发明专利]离子源及其维护方法有效

专利信息
申请号: 201611249662.8 申请日: 2016-12-29
公开(公告)号: CN106601585B 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 张进伟;任焱 申请(专利权)人: 聚光科技(杭州)股份有限公司
主分类号: H01J49/14 分类号: H01J49/14
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310052 浙*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供了一种离子源及其维护方法,离子源包括进样管、泵;空腔,所述空腔具有样品进口、离子出口和气体出口,所述进样管安装在所述样品进口处;推斥极,所述推斥极为底部具有适于样品进入的通孔的筒形电极;吸引极,所述吸引极为底部具有适于样品进入的通孔、侧部具有通孔的筒形电极,设置在所述推斥极的内部;环形灯丝,所述环形灯丝设置在所述推斥极和吸引极之间的空间内,且绕在所述吸引极的外围;电源,所述电源的输出端连接所述推斥极、吸引极和环形灯丝。本发明具有灯丝使用寿命长、信噪比高等优点。
搜索关键词: 离子源 及其 维护 方法
【主权项】:
1.一种离子源,所述离子源包括进样管和泵;其特征在于:所述离子源进一步包括:空腔,所述空腔具有样品进口、离子出口和气体出口,所述进样管安装在所述样品进口处;未被电离的中性样品由气体出口抽出;推斥极,所述推斥极为底部具有适于样品进入的通孔的筒形电极;吸引极,所述吸引极为底部具有适于样品进入的通孔、侧部具有通孔的筒形电极,设置在所述推斥极的内部;杆状聚焦电极,所述杆状聚焦电极设置在所述空腔的腔体内,且处于所述吸引极和离子出口之间;环形灯丝,所述环形灯丝设置在所述推斥极和吸引极之间的空间内,且绕在所述吸引极的外围;电源,所述电源的输出端连接所述推斥极、吸引极和环形灯丝。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于聚光科技(杭州)股份有限公司,未经聚光科技(杭州)股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201611249662.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top