[发明专利]一种柔性器件的制作方法

摘要

本申请涉及一种柔性器件的制作方法，包括：(1)在底板上制作第一电极层，在第一电极层中设置通道；(2)在第一电极层上制作第一电致伸缩性材料膜，且第一电致伸缩性材料膜延伸通过通道与底板相连接；(3)在第一电致伸缩性材料膜的上表面形成第二电极层；(4)在第二电极层的上表面制作柔性基板，在柔性基板上制作功能器件；(5)在第一电极层和第二电极层之间施加第一电压，并使第一电压大于第一电致伸缩性材料膜的相变阈值电压，以使与底板相连接的第一电致伸缩性材料膜发生形变从而至少部分脱离底板；(6)将第一电极层和第一电致伸缩性材料膜从底板上剥离。该方法简单易行，可实现大面积柔性基板剥离并有利于提高柔性器件的制作良率。

主权项

1.一种柔性器件的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)在底板上制作第一电极层，在所述第一电极层中设置通道；(2)在所述第一电极层上制作一层第一电致伸缩性材料膜，且所述第一电致伸缩性材料膜延伸通过所述通道覆盖在所述底板的裸露部分上；(3)在所述第一电致伸缩性材料膜的上表面形成第二电极层；(4)在所述第二电极层的上表面制作柔性基板，在所述柔性基板上制作功能器件；(5)在所述第一电极层和所述第二电极层之间施加第一电压，并使所述第一电压大于所述第一电致伸缩性材料膜的相变阈值电压，以使与所述底板相连接的所述第一电致伸缩性材料膜发生形变从而至少部分脱离所述底板；(6)将所述第一电极层和所述第一电致伸缩性材料膜从所述底板上剥离；其中，所述第一电极层包括在所述底板上并排间隔设置的多个条状电极，相邻的所述条状电极之间的间隔形成所述通道。