[发明专利]用于管控线上缺陷的方法和系统有效
| 申请号： | 201611206324.6 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN108242411B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 闫卫卫;刘孜谦 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 高伟;卜璐璐 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于管控线上缺陷的方法和系统，该方法包括：根据不同的工艺要求，通过分析历史数据来定义线上机台等级，以用于在实施线上制程时从可用机台中选择最高等级机台来执行；在采用所选择的机台实施线上制程时，监控所选择的机台的运行情况和在所选择的机台上的产品的实际生产情况；基于所述监控的结果更新用于所述分析以定义线上机台等级的历史数据，并更新或维持所述所选择的机台的等级。本发明所提供的用于管控线上缺陷的方法和系统根据不同工艺要求定义机台等级，优先选择高等级的机台用于生产，同时对机台和产品生产情况实时监控，可及早检测性能变化并及时做出改善应对措施，能够有效提高产品质量并最大化地利用机台产能。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 线上 缺陷 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于管控线上缺陷的方法，其特征在于，所述方法包括：根据不同的工艺要求，通过分析历史数据来定义线上机台等级，以用于在实施线上制程时从可用机台中选择最高等级机台来执行；在采用所选择的机台实施线上制程时，监控所述所选择的机台的运行情况和在所述所选择的机台上的产品的实际生产情况；以及基于所述监控的结果更新用于所述分析以定义线上机台等级的历史数据，并更新或维持所述所选择的机台的等级。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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