[发明专利]透射电镜样品的制备方法在审
| 申请号： | 201611191297.X | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN106442072A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 高慧敏;张顺勇;汤光敏;卢勤 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种透射电镜样品的制备方法，首先在芯片的正面粘贴一金属环；然后剥离所述芯片的背面至所需观测的结构层；最后切除所述金属环外围的芯片，保留了所述金属环连同所述金属环内的芯片，形成最终的透射电镜样品。此时整个金属环的内部均为薄区，进一步的，所述样品的面积已达mm2级别，实现了大面积透射电镜观测的效果，透射电镜能够对该样品进行大面积观测以寻找失效结构。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种透射电镜样品的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：在芯片的正面粘贴一金属环；剥离所述芯片的背面至所需观测的结构层；切除所述金属环外围的芯片，保留所述金属环连同所述金属环内的芯片，形成透射电镜样品。
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