[发明专利]FeSx 有效
| 申请号： | 201611183072.X | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108201893B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 王新炜;国政;邵友东 | 申请（专利权）人： | 北京大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | B01J27/043 | 分类号： | B01J27/043;B01J35/02;B01J37/00;C01G49/12;C07C241/02;C07C243/22 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开FeS |
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| 搜索关键词： | fes base sub | ||
【主权项】：
1.一种采用原子层沉积的方法沉积FeSx薄膜的方法，其特征在于，包括步骤：将铁前驱体和硫前驱体送入放有基底的沉积腔室中，沉积腔室温度设定为20~400℃，进行FeSx薄膜的沉积；沉积结束后，进行降温处理，待温度降至室温后，将包覆有FeSx薄膜的基底取出。
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