[发明专利]用于通过增加材料制造预定厚度的游丝的方法有效

专利信息
申请号: 201611164474.5 申请日: 2016-12-16
公开(公告)号: CN106997170B 公开(公告)日: 2019-10-15
发明(设计)人: F·科勒;J-L·比卡耶;O·亨齐克 申请(专利权)人: 瑞士电子显微技术研究与开发中心股份有限公司
主分类号: G04D3/00 分类号: G04D3/00;G04B17/06
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 秘凤华;吴鹏
地址: 瑞士纳*** 国省代码: 瑞士;CH
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摘要: 发明涉及一种用于制造预定刚度的游丝的方法,其包括以下步骤:制造其尺寸用于获得有意降低的刚度的游丝;确定在步骤a)中形成的游丝的刚度,以补偿为了获得具有所述预定刚度所需的尺寸的游丝而需要的缺失的材料厚度。
搜索关键词: 用于 通过 增加 材料 制造 预定 厚度 游丝 方法
【主权项】:
1.一种用于制造预定刚度(C)的游丝(5c)的制造方法(31),包括以下步骤:a)形成(33)尺寸(Da,H1,E1)小于获得预定刚度(C)的所述游丝(5c)所需的尺寸(Db,H2,E2)的游丝(5a);b)通过测量与具有预定惯性的摆轮耦接的游丝(5a)的频率(f),确定(35)在步骤a)中形成的游丝(5a)的刚度(C);c)基于在步骤b)中确定的游丝(5a)的刚度(C)的确定结果来计算(37)缺失的材料厚度,所述缺失的材料厚度是获得预定刚度(C)的所述游丝(5c)所需要的;d)沿着在步骤a)中形成的游丝(5a)的基本上垂直于其高度尺寸的第一表面以及沿着所述游丝的基本上垂直于该第一表面的另一表面修改(39)所述游丝,以补偿为了获得具有所述预定刚度(C)所需的尺寸(Db,H2,E2)的游丝(5c)所需的所述缺失的材料厚度。
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