[发明专利]一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台及制样方法在审
| 申请号： | 201611148451.5 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN107768221A | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 王军华;郭茂根;郑利锋;蒋伟;朱春梅;张娟 | 申请（专利权）人： | 万向一二三股份公司;万向集团公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;G01N23/22 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 311215 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台，包括基座，压盖，密封圈，样品盘，扭力弹簧，扭力弹簧固定件，顶板，连接座，轴，轴承及扭力弹簧压。待扫描的空气或水分敏感样品在手套箱中被惰性气体的保护下密封在样品盘上，然后再转移到扫描电镜样品室进行扫描观测。用于空气或水分敏感样品的扫描电镜制样方法，包括以下步骤1.在惰性气体保护下把样品放在样品盘上，盖好压盖，样品被密封在由基座、压盖、密封圈三者围成的低压空间内；2.把样品台转移到扫描电镜样品室，将样品室抽真空；3. 压盖在扭簧的作用下打开，扫描电镜抽真空完毕；4. 对样品进行观测、记录、分析，作出结论。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 空气 水分 敏感 样品 扫描电镜 方法 | ||
【主权项】：
一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台，包括基座（1），压盖（2），密封圈（10）；其特征是：还包括有样品盘（3），左、右扭力弹簧（13），扭力弹簧固定件（11）；压盖（2）的后端和基座（1）的后端铰接，样品盘（3）和基座（1）的上端相连；密封圈（10）固定在基座（1）的前端的上端或压盖（2）前端的下端上，压盖（2）的前端盖向基座（1）的前端的上端时，密封圈（10）的内外圆涨挤在基座（1）的前端的上端和压盖（2）的前端之间，压盖（2）的前端、密封圈（10）和基座（1）的前端的上端围成一个密封的、把样品盘（3）包围在其中的样品置放空间；左、右扭力弹簧（13）的中部分别用扭力弹簧固定件（11）和基座（1）的后端相连，左、右扭力弹簧（13）的一端分别和基座（1）的前端的左、右侧固连，左、右扭力弹簧（13）的另一端分别和压盖（2）的左、右侧相连。
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