[发明专利]一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台及制样方法

权利要求书

1.一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台，包括基座（1），压盖（2），密封圈（10）；其特征是：还包括有样品盘（3），左、右扭力弹簧（13），扭力弹簧固定件（11）；压盖（2）的后端和基座（1）的后端铰接，样品盘（3）和基座（1）的上端相连；密封圈（10）固定在基座（1）的前端的上端或压盖（2）前端的下端上，压盖（2）的前端盖向基座（1）的前端的上端时，密封圈（10）的内外圆涨挤在基座（1）的前端的上端和压盖（2）的前端之间，压盖（2）的前端、密封圈（10）和基座（1）的前端的上端围成一个密封的、把样品盘（3）包围在其中的样品置放空间；左、右扭力弹簧（13）的中部分别用扭力弹簧固定件（11）和基座（1）的后端相连，左、右扭力弹簧（13）的一端分别和基座（1）的前端的左、右侧固连，左、右扭力弹簧（13）的另一端分别和压盖（2）的左、右侧相连。

2.根据权利要求1所述的一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台，其特征是：还包括有左、右扭力弹簧压板（4、5），左、右扭力弹簧压板（4、5）和基座（1）的前端的左、右侧分别固连，左、右扭力弹簧压板（4、5）分别把左、右扭力弹簧（13）和基座相连的一端压固相连在一起。

3.根据权利要求1所述的一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台，其特征是：基座（1）的后端高于前端。

4.根据权利要求3所述的一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台，其特征是：还包括有顶板（6），顶板（6）和压盖（2）的后端固连，顶板（6）的两侧分别伸离压盖（2）的后端两侧后再向下折弯；左、右扭力弹簧（13）的另一端分别和顶板（6）的两侧伸离压盖（2）的后端两侧后再向下折弯的部分的下表面相连，从而实现左、右扭力弹簧（13）的另一端分别和压盖（2）的左、右侧的相连，左、右扭力弹簧（13）的另一端处于平伸向前状态。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台，其特征是：还包括有轴（8）和轴承（9）；基座（1）的后端由两个连接柱构成，连接柱的上设有和轴（8）适配的连接孔；压盖（2）的后端设于这两个连接柱之间，压盖（2）的后端还设有和轴承（9）适配的轴承孔，轴（8）的两端分别和连接孔相连，轴承（9）设于轴（8）和轴承孔之间。

6.根据权利要求1或2或3或4所述的一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台，其特征是：还包括有连接座（7）；连接座（7）的上端和基座（1）的下端相连。

7.基于上述样品台的用于空气或水分敏感样品的扫描电镜制样方法，其特征是：包含以下步骤：

步骤一：在手套箱内的惰性气氛保护下，将表面覆盖有导电胶的样品盘放置到基座前端的上表面上，然后将空气或水分敏感样品粘到导电胶表面上，再将压盖压向基座，使压盖、基座和位于压盖与基座间的密封圈围成一个密闭的空间；

步骤二：将已经压紧的样品台从手套箱取出后，转移到扫描电镜样品室；关闭样品室后，将样品室抽真空；

步骤三：待样品室的真空度不断提高，压盖、基座和位于压盖与基座间的密封圈所围成的密闭空间与样品室的压差提高，待压差达到一定值时，压盖与基座相分离，并在扭簧的作用下打开，扫描电镜抽真空完毕，待扫描电镜状态准备就绪；

步骤四：开始对样品进行观测、记录；

步骤五：对观测、记录结果进行分析。