[发明专利]一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台及制样方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种产品的扫描电镜样品台及制样方法，具体涉及一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台及制样方法。

背景技术

扫描电子显微镜【简称扫描电镜】是利用高能聚焦电子束在样品表面扫描，激发出二次电子、背散射电子、特征X射线等物理信息，通过对这些物理信息的接受、放大和显示成像，获得样品表面形貌及表面元素分布等信息的先进分析测试手段。扫描电镜具有放大倍数高，分辨率高，试样制备简单，综合分析能力强，配合能谱仪等装置可进行微区成分分析等优势，是目前应用最广的科学研究仪器之一。

传统的扫描电镜样品制备过程在空气气氛下操作，在具有优良电子电导率的铜制或铝制样品台表面覆盖一层导电胶，将样品洒在导电胶表面后放入扫描电镜进行分析。对于空气或水分敏感的样品，目前往往在充满氩气或者氮气的手套箱等惰性气氛下按照上述方法进行制样，但是在样品从手套箱转移到扫描电镜的过程中难免会短暂暴露于空气气氛下。由于扫描电镜只能进行表面显微组织性貌的观察和表面微区成分分析，一些对氧气与水分敏感的样品会在短暂空气暴露后发生反应，造成表面形貌及表面元素成分不可逆的改变。因此改变传统样品制备方式，以最大程度降低甚至杜绝样品的空气暴露对于空气或水分敏感的样品分析至关重要。

申请号：201410134539.6，名称为 “一种原位同步观测和分析锂离子电池电极反应的方法”的中国发明专利提供了一种扫描电镜专用电池测试密封盒。但该方法需要从电镜外实现对升降台控制，需要对设备进行改造，造价较高。

公开号CN104730292A，名称为“一种锂离子电池嵌锂态负极电镜样品的制备”的中国发明专利，公开了一种锂离子电池嵌锂态负极电镜样品的制备及观测方法，该方法采用惰性气体对样品室内部进行移动式吹扫，置换内部的空气。不足之处在于，该方法仍需要将已经置换气体的样品室打开，会有短暂的空气暴露时间，并且需要外加惰性气体，具有较高的运营成本。

发明内容

本发明的主要发明目的，是提供一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台，运用该样品台可在避免空气或水分敏感样品在空气中暴露的前提下，将样品转移到扫描电镜内部，并且不需要对扫描电镜设备进行任何改造就可以实现样品的扫描观测，以最大限度的降低运营成本。该发明的另一个发明目的在于提供一种基于所述样品台的用于空气或水分敏感样品的扫描电镜制样方法。

为提供一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台，本发明所用的技术方案是：一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台，包括基座，压盖，密封圈，样品盘，左、右扭力弹簧，扭力弹簧固定件；压盖的后端和基座的后端铰接，样品盘和基座的上端相连，密封圈固定在基座前端的上端或压盖前端的下端上，压盖的前端盖向基座的前端的上端时，密封圈的内外圆涨挤在基座的前端的上端和压盖的前端之间，压盖的前端、密封圈和基座的前端的上端围成一个密封的、把样品盘包围在其中的样品置放空间；左、右扭力弹簧的中部分别用扭力弹簧固定件和基座的后端相连，左、右扭力弹簧的一端分别和基座的前端的左、右侧固连，左、右扭力弹簧的另一端分别和压盖的左、右侧相连。