[发明专利]一种光学气体传感器芯体、传感器及芯体制备方法

摘要

本发明公开了一种光学传感器芯体，包括基片，基片上设有底层反射层和电极柱，电极柱的上端设有顶层反射层，底层反射层的两侧分别设置有发射组件和接收组件。本发明还公开了一种光学传感器，包括基座，基座内设有空腔，空腔内安装有芯体。本发明的芯体及传感器均具有适用于不同浓度气体检测、以及结构简单、体积小等优点。本发明还公开了一种芯体制备方法，步骤S01、清洗基片；S02、在基片上制备底层反射层，并在底层反射层的两侧安装发射组件和接收组件；S03、在底层反射层上制备牺牲层和电极柱；S04、在电极柱的上端制备顶层反射层；S05、释放牺牲层，以使底层反射层和顶层反射层之间形成光腔室。本发明的方法具有操作简便、工艺简单、易于实现等优点。

主权项

1.一种光学传感器芯体，其特征在于，包括基片（1），所述基片（1）上设有底层反射层（3），所述底层反射层（3）上设有电极柱（4），所述电极柱（4）的另一端上设有顶层反射层（6），所述底层反射层（3）和顶层反射层（6）平行设置且中间形成光腔室，所述底层反射层（3）的两侧分别设置有发射组件（9）和接收组件（10），所述发射组件（9）的光发射方向和接收组件（10）的光接收方向与顶层反射层（6）呈夹角β，所述夹角0＜β＜90度；通过调整电极柱（4）的高度以改变光行程。