[发明专利]直写曝光机中基于标定板的误差校正和补偿方法

摘要

本发明公开了直写曝光机中基于标定板的误差校正和补偿方法及其装置，首先采集标定板上至少一个任意区域的顶点坐标值；然后根据图形相似变换模型以及顶点坐标值确定该顶点坐标值对应区域的尺寸涨缩变化量，最后根据所述尺寸涨缩变化量对直写曝光机系统进行误差校正和补偿。通过标定板量测和校正不同区域的图形的形变，对曝光设备系统做校正和补偿，从而提高了曝光不同的区域成像结果的质量。

主权项

1.直写曝光机中基于标定板的误差校正和补偿方法，其特征在于，首先采集标定板上至少一个任意区域的顶点坐标值，具体为：将带有等间距标记点的标定板置于平台上，通过传感器采集标定板上任意位置构成图形的顶点坐标值；然后根据图形相似变换模型以及顶点坐标值确定该顶点坐标值对应区域的尺寸涨缩变化量，最后根据所述尺寸涨缩变化量对直写曝光机系统进行误差校正和补偿，根据图形相似变换模型和顶点坐标值确定该顶点坐标值对应区域的尺寸涨缩变化量，具体通过以下步骤实现：顶点坐标值为(xs1，ys1)、(xs2，ys2)……(xsn，ysn)，图形相似变换中的旋转角为α，每个顶点x轴方向的涨缩量为(s1x，s2x……snx)，y轴方向的涨缩量为(s1y，s2y……sny)，x轴方向的平移量为(t1x，t2x……tnx)，y轴方向的平移量为(t1y，t2y……tny)；步骤1，将所述传感器采集标定板上任意位置构成图形的顶点坐标值带入转换公式中，得：上式中，(xc1，yc1)、(xc2，yc2)……(xcn，ycn)表示(xs1，ys1)、(xs2，ys2)……(xsn，ysn)对应的理论值，即为标定板上各个标定点的原始坐标；步骤2，将步骤1中的方程(1)～(3)计算后得到：步骤3，根据步骤2中的方程(4)～(6)，使用高斯牛顿迭代法求解出旋转角、x轴方向的涨缩量、y轴方向的涨缩量、x轴方向的平移量以及y轴方向的平移量，即求出所述区域的尺寸涨缩变化量。