[发明专利]一种具有参考电容的传感器件

摘要

本发明提供了一种具有参考电容的传感器件，包括：第一衬底，所述第一衬底包括具有第一半导体元件的正面和与所述正面相对的背面；在所述第一衬底的背面的凹槽，所述凹槽深度小于或等于所述第一衬底的厚度的一半；固定于所述凹槽内的第二衬底，所述第二衬底包括具有第二半导体元件的正面和与所述正面相对的背面，所述第二衬底的正面与所述第一衬底的背面共面；平行于所述第一衬底的侧面的电容器，所述电容器由绝缘材料包覆。

主权项

1.一种具有参考电容的传感器件，包括：第一衬底，所述第一衬底包括具有第一半导体元件的正面和和所述正面相对的背面；在所述第一衬底的背面的凹槽，所述凹槽深度小于或等于所述第一衬底的厚度的一半；固定于所述凹槽内的第二衬底，所述第二衬底包括具有第二半导体元件的正面和与所述正面相对的背面，所述第二衬底的正面与所述第一衬底的背面共面；平行于所述第一衬底的侧面的电容器，所述电容器由绝缘材料包覆；在所述第一衬底的正面上通过第一感光树脂层粘合的第一滤光玻璃片；在所述第二衬底的正面和第一衬底的背面上通过第二感光树脂层、透明填充层粘合的第二滤光玻璃片；在所述第一衬底的正面上的多个第一焊盘和在所述第二衬底的正面上的多个第二焊盘；电连接所述第一焊盘的、穿过所述第一衬底和第二感光树脂层的第一导电通孔，以及电连接所述第二焊盘的、穿过所述第二感光树脂层的第二导电通孔；所述第一导电通孔和第二导电通孔分别通过焊球与所述第二滤光玻璃片的导电图案电连接；所述电容器的两个电极板与第三导电通孔电连接，再通过焊球与所述第二滤光玻璃片的导电图案电连接。