[发明专利]用于分析物体的方法以及执行该方法的带电粒子束装置

摘要

本发明涉及一种用于使用生成带电粒子束的带电粒子束装置来分析物体的方法。此外，本发明涉及一种用于执行这种方法的带电粒子束装置。所述方法包括将所述物体的图像的对应于体积单元的体积单元表面的一部分分割为具有第一颜色级和第二颜色级的区域以及确定相应区域分数。所述方法包括通过对所述颜色级与存储在数据库中的信息进行比较而识别具有各颜色级的多个粒子的步骤。通过比较所述颜色级，可以识别可包括在所述体积单元中的可能粒子，例如，矿物。

主权项

一种用于使用带电粒子束装置(100；200；300)分析物体(114；225；304)的方法，‑所述带电粒子束装置(100；200；300)包括用于生成具有带电粒子的带电粒子束(312；329)的带电粒子发生器(101；202；307；330)、用于将所述带电粒子束(312；329)聚焦至所述物体(114；225；304)上的物镜(107；221；319；334)、用于检测相互作用粒子的第一检测单元(116，117；219，228；317)以及用于检测相互作用辐射的第二检测单元(500)，所述相互作用粒子和所述相互作用辐射是在所述带电粒子束撞击在所述物体(114；225；304)上时生成的，并且包括存储关于第一粒子和第二粒子的特性的信息的数据库(702)，其中，所述方法包括以下步骤：‑在所述物体(114；225；304)上方引导所述带电粒子束；‑使用所述第一检测单元(116，117；219，228；317)检测相互作用粒子，使用所述第一检测单元(116，117；219，228；317)生成第一检测信号，并且使用所述第一检测信号生成所述物体(114；225；304)的图像(800)，所述图像(800)包括具有不同颜色级的区域(I，II，III)，并且所述图像(800)具有图像分辨率；‑使用所述第二检测单元(500)检测相互作用辐射，使用所述第二检测单元(500)生成第二检测信号，并且使用所述第二检测信号生成辐射光谱，所述辐射光谱表示所述物体(114；225；304)的体积单元(502)并且提供关于所述体积单元(502)的总体材料组成的信息，所述体积单元(502)具有沿着第一轴(x)的第一延伸、沿着第二轴(y)的第二延伸以及沿着第三轴(z)的第三延伸，所述图像分辨率小于以下各项中的至少一项：所述第一延伸、所述第二延伸和所述第三延伸，并且所述体积单元(502)具有被以下各项中的两项跨越的体积单元表面(503)：所述第一轴(x)、所述第二轴(y)和所述第三轴(z)；‑将所述图像(800)的对应于所述体积单元表面(503)的一部分分割为具有第一颜色级和第二颜色级的区域；‑确定所述区域的包括所述第一颜色级的第一区域分数，并且确定所述区域的包括所述第二颜色级的第二区域分数；‑通过对所述第一颜色级与存储在所述数据库(702)中的所述信息进行比较而识别与所述第一颜色级相关联的所述第一粒子，并且通过对所述第二颜色级与存储在所述数据库(702)中的所述信息进行比较而识别与所述第二颜色级相关联的所述第二粒子；以及‑通过使用所述第一粒子的特性、所述第一区域分数、所述第二粒子的特性和所述第二区域分数来确定所述体积单元(502)的组成，其中，所述体积单元(502)的所述组成由以所述第一区域分数的量的所述第一粒子与以所述第二区域分数的量的所述第二粒子按比例组成。