[发明专利]光波导有效
| 申请号： | 201611019852.0 | 申请日： | 2016-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN106646736B | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 费永浩;朱以胜;孙敏 | 申请（专利权）人： | 华为机器有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 | 代理人： | 秦卫中;肖鹂 |
| 地址： | 523808 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种光波导，包括：依次堆叠的衬底(01)、埋氧层(02)、波导层(06)、包层(03)和防潮层(05)；所述防潮层(05)覆盖所述包层(03)表面上的至少部分区域，所述至少部分区域包括与所述波导层(06)正对的区域。本发明实施例的光波导，通过在包层表面设置防潮层，能够提高光波导的防潮性能，以减少湿度变化对该光波导的模场分布和模场大小的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 光波导 防潮层 包层 波导层 表面设置 防潮性能 模场分布 湿度变化 埋氧层 衬底 堆叠 正对 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种光波导，其特征在于，包括：依次堆叠的衬底(01)、埋氧层(02)、波导层(06)、包层(03)和防潮层(05)；所述防潮层(05)覆盖所述包层(03)表面上的至少部分区域，所述至少部分区域包括与所述波导层(06)正对的区域；所述埋氧层(02)覆盖所述衬底(01)的第一表面的至少部分区域，所述波导层(06)覆盖所述埋氧层(02)的第一表面的第一区域，所述包层(03)覆盖所述埋氧层(02)的第一表面上除所述第一区域之外的至少部分区域和所述波导层(06)，其中，所述衬底(01)的第一表面为所述衬底(01)上靠近所述埋氧层(02)的一侧的表面，所述埋氧层(02)的第一表面为所述埋氧层(02)上远离所述衬底(01)的一侧的表面；所述埋氧层(02)覆盖所述衬底(01)的第一表面，所述埋氧层(02)的第一表面上除所述第一区域之外的区域包括第二区域、第三区域、第四区域和第五区域，所述第二区域与所述第三区域之间间隔所述第五区域，所述第三区域和第四区域均与所述第一区域相邻，所述第三区域位于所述第一区域的一侧，所述第四区域位于所述第一区域的另一侧；所述包层(03)包括第一包层(031)和第二包层(032)，所述第一包层(031)覆盖所述第二区域，所述第二包层(032)覆盖所述第三区域、所述波导层(06)和所述第四区域；所述防潮层(05)覆盖所述第一包层(031)的第一表面的至少部分区域、所述第二包层(032)的第一表面、所述第一包层(031)上靠近所述第二包层(032)的侧壁、所述第二包层(032)上靠近所述第一包层(031)的侧壁以及所述第五区域，其中，所述第一包层(031)的第一表面为所述第一包层(031)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面，所述第二包层(032)的第一表面为所述第二包层(032)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面。
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