[发明专利]光波导有效
| 申请号： | 201611019852.0 | 申请日： | 2016-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN106646736B | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 费永浩;朱以胜;孙敏 | 申请（专利权）人： | 华为机器有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 | 代理人： | 秦卫中;肖鹂 |
| 地址： | 523808 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光波导 防潮层 包层 波导层 表面设置 防潮性能 模场分布 湿度变化 埋氧层 衬底 堆叠 正对 覆盖 | ||
1.一种光波导，其特征在于，包括：
依次堆叠的衬底(01)、埋氧层(02)、波导层(06)、包层(03)和防潮层(05)；
所述防潮层(05)覆盖所述包层(03)表面上的至少部分区域，所述至少部分区域包括与所述波导层(06)正对的区域；
所述埋氧层(02)覆盖所述衬底(01)的第一表面的至少部分区域，所述波导层(06)覆盖所述埋氧层(02)的第一表面的第一区域，所述包层(03)覆盖所述埋氧层(02)的第一表面上除所述第一区域之外的至少部分区域和所述波导层(06)，
其中，所述衬底(01)的第一表面为所述衬底(01)上靠近所述埋氧层(02)的一侧的表面，所述埋氧层(02)的第一表面为所述埋氧层(02)上远离所述衬底(01)的一侧的表面；
所述埋氧层(02)覆盖所述衬底(01)的第一表面，所述埋氧层(02)的第一表面上除所述第一区域之外的区域包括第二区域、第三区域、第四区域和第五区域，所述第二区域与所述第三区域之间间隔所述第五区域，所述第三区域和第四区域均与所述第一区域相邻，所述第三区域位于所述第一区域的一侧，所述第四区域位于所述第一区域的另一侧；
所述包层(03)包括第一包层(031)和第二包层(032)，所述第一包层(031)覆盖所述第二区域，所述第二包层(032)覆盖所述第三区域、所述波导层(06)和所述第四区域；
所述防潮层(05)覆盖所述第一包层(031)的第一表面的至少部分区域、所述第二包层(032)的第一表面、所述第一包层(031)上靠近所述第二包层(032)的侧壁、所述第二包层(032)上靠近所述第一包层(031)的侧壁以及所述第五区域，
其中，所述第一包层(031)的第一表面为所述第一包层(031)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面，所述第二包层(032)的第一表面为所述第二包层(032)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面。
2.根据权利要求1所述的光波导，其特征在于，还包括：
上包层(04)，所述上包层(04)覆盖所述防潮层(05)上远离所述包层(03)的一侧表面。
3.根据权利要求1或2所述的光波导，其特征在于，所述防潮层(05)包括一层或多层子防潮层。
4.根据权利要求1或2所述的光波导，其特征在于，所述防潮层(05)包括以下至少一种材料：SixN1-x、SiON、Al和Al1-xOx，其中0<x<1。
5.根据权利要求1或2所述的光波导，其特征在于，所述防潮层(05)与所述波导层(06)之间的距离大于或等于1μm且小于或等于20μm。
6.根据权利要求1或2所述的光波导，其特征在于，所述防潮层(05)的厚度大于或等于2nm且小于或等于200nm。
7.根据权利要求1或2所述的光波导，其特征在于，所述光波导为反向楔形模斑转换器。
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