[发明专利]一种层状结构热障涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201611013665.1 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN106521429B | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 高巍;崔向中;姜春竹;周国栋;马江宁 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 姚亮 |
| 地址： | 100024 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种层状结构热障涂层的制备方法。该制备方法在电子束物理气相沉积涂层前采用金属离子束对工件进行轰击清洗，并在电子束物理气相沉积涂层时采用金属离子束对工件进行轰击，涂层沉积过程中周期性调整电子束流和离子束流的大小，使涂层周期性生长，完成层状结构热障涂层的制备。使用该制备方法可以进一步提高热障涂层的隔热效果，同时保持涂层的长寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 层状 结构 热障 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种层状结构热障涂层的制备方法，其包括以下步骤：(1)将蒸发材料棒放入真空室的坩埚上，工件放入真空室的水平轴上，将离子源靶材放入离子源中，对真空室抽真空；(2)将所述工件放置到所述蒸发材料棒正上方，将挡板放置到所述工件与所述蒸发材料棒之间；(3)用电子束将所述蒸发材料棒熔化至表面呈沸腾状态，然后将电子束流强度降低，保持所述蒸发材料棒呈微红状态，保持所述蒸发材料棒呈微红状态的电子束流强度为0.2‑0.4A；(4)用电子束对所述工件进行预热；(5)启动离子源；(6)调整电子束流强度，使所述蒸发材料棒表面呈沸腾状态，设定所述蒸发材料棒呈上升状态；(7)移开所述挡板，让所述工件完全暴露于蒸汽之中；(8)降低离子束流强度，然后调整电子束流强度的大小，使所述蒸发材料棒表面呈沸腾状态，设定所述蒸发材料棒呈上升状态；(9)增加离子束流强度，然后降低电子束流强度，使所述蒸发材料棒表面呈微红状态，保持所述蒸发材料棒静止；(10)周期性重复步骤8和9，直至沉积过程结束；(11)关闭所述电子束和离子源，待所述工件冷却至室温取出，完成层状结构热障涂层的制备。
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