[发明专利]干涉物镜及基准表面单元组有效
| 申请号： | 201611011980.0 | 申请日： | 2016-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN107036548B | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 半田博久 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02;G02B21/24;G02B21/36;G02B21/02;G02B21/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王冉 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了干涉物镜及基准表面单元组。干涉物镜包括：物镜，构造成将从光源发出的光朝向测量目标汇聚；具有基准表面的基准表面单元；以及分束器，该分束器构造成将已经通过物镜的光分成面朝向基准表面的基准光路和面朝向测量目标的测量光路，以将来自基准表面的反射光和来自测量目标的反射光合成，并将其作为干涉光输出，其中干涉表面单元被构造成可置换的。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 物镜 基准 表面 单元 | ||
【主权项】：
一种干涉物镜，包括：物镜，构造成将从光源发射的光朝向测量目标汇聚；具有基准表面的基准表面单元；以及分束器，该分束器构造成将已经通过物镜的光分成面朝向基准表面的基准光路和面朝向测量目标的测量光路，以将来自基准表面的反射光和来自测量目标的反射光合成，并将其作为干涉光输出，其中干涉表面单元被构造成可置换的。
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