[发明专利]干涉物镜及基准表面单元组

权利要求书

1.一种干涉物镜，包括：

物镜，构造成将从光源发射的光朝向测量目标汇聚；

具有基准表面的基准表面单元；以及

分束器，该分束器构造成将已经通过物镜的光分成面朝向基准表面的基准光路和面朝向测量目标的测量光路，以将来自基准表面的反射光和来自测量目标的反射光合成，并将其作为干涉光输出，

干涉表面单元被构造成可置换的，

基准表面单元被构造成调节所述基准表面的倾角，

基准表面单元包括用于以任意角度固定倾角的锁定机构，

基准表面的倾角可以利用构造成可拆卸地安装到基准表面单元的倾斜调节单元来调节，

基准表面单元包括设置成改变倾斜姿势的可动轴承，以及包括倾斜调节单元，

所述倾斜调节单元具有圆柱形主体和倾斜调节按钮，该倾斜调节按钮具有从外部穿透圆柱形主体到内部的凸起并能够改变凸起进入圆柱形主体内部的突伸程度，

倾斜调节单元设置成圆柱形主体围绕可动轴承，以及

倾斜调节单元设置成凸起的尖端压向可动轴承的外壁，可动轴承的外壁具有球形形状。

2.根据权利要求1的干涉物镜，其中

干涉表面单元安装成使之可以自由地安装和拆卸。

3.根据权利要求1的干涉物镜，其中

基准表面单元的基准表面形成为除了平面形状之外的任意形状。

4.根据权利要求3的干涉物镜，其中

所述任意形状是对应于测量目标的表面形状的形状。

5.一种基准表面单元组，包括：

多个基准表面单元，每个基准表面单元包括：

如权利要求1所述的干涉物镜；

每个基准表面单元的反射性和要形成的形状中的至少一个彼此不同。

6.根据权利要求5的基准表面单元组，其中

基准表面单元的基准表面的倾角的调节已完成。