[发明专利]一种镀膜箱设备有效
| 申请号： | 201611003940.1 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN106498346B | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 高扬 | 申请（专利权）人： | 何莹莹 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 台州蓝天知识产权代理有限公司 33229 | 代理人： | 周绪洞 |
| 地址： | 317700 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镀膜箱设备，包括镀膜箱、自动门机构和自动门驱动机构，所述镀膜箱的前侧开口，镀膜箱的开口侧安装有自动门机构，自动门驱动机构安装在镀膜箱的侧面，自动门驱动机构与自动门机构之间通过齿轮齿条啮合连接。它更加方便地将基板放入真空镀膜箱，且方便地将真空镀膜箱开口侧封闭。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜箱设备，包括镀膜箱(1)、自动门机构(2)和自动门驱动机构(3)，其特征在于：所述镀膜箱(1)的前侧开口，镀膜箱(1)的开口侧安装有自动门机构(2)，自动门驱动机构(3)安装在镀膜箱(1)的右侧壁上，自动门驱动机构(3)与自动门机构(2)之间通过齿轮齿条啮合连接；所述自动门机构(2)包括门板(21)、一对直角滑轨(22)和升降齿条(23)，一对直角滑轨(22)分别固定在镀膜箱(1)的左右两侧，门板(21)与直角滑轨(22)活动配合连接，门板(21)的上部铰接在升降齿条(23)上，升降齿条(23)套接在右侧的直角滑轨(22)上；所述自动门驱动机构(3)包括升降驱动齿轮(31)，升降驱动齿轮(31)的内部中空部分固定有齿圈(32)，齿圈(32)与传动齿轮(33)啮合，传动齿轮(33)固定在连接轴(34)的一端，连接轴(34)的另一端固定有第二传动齿轮(35)并铰接在驱动机构支架(39)的延伸臂(391)上，第二传动齿轮(35)与驱动齿轮(36)啮合，驱动齿轮(36)的下端设有弹性导向装置(37)，驱动齿轮(36)的上端圆柱凸起(361)套接在延伸臂(391)的通孔(3911)内，驱动手柄(38)穿过通孔(3911)固定在圆柱凸起(361)上；驱动手柄(38)的传动臂(381)套接在驱动机构支架(39)的通槽(392)上，驱动机构支架(39)固定在镀膜箱(1)的右侧；所述升降驱动齿轮(31)铰接在镀膜箱(1)的右侧壁上，升降齿条(23)与升降驱动齿轮(31)啮合。
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