[发明专利]一种设有前后门的镀膜箱设备有效

专利信息
申请号: 201611003915.3 申请日: 2016-11-15
公开(公告)号: CN106498345B 公开(公告)日: 2019-07-12
发明(设计)人: 高扬 申请(专利权)人: 陈玲婷
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 台州蓝天知识产权代理有限公司 33229 代理人: 杨娟
地址: 318000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种设有前后门的镀膜箱设备,包括镀膜箱、一对自动门机构和自动门驱动机构,所述镀膜箱的前后两侧开口,镀膜箱的前后开口侧各安装有一个自动门机构,自动门驱动机构安装在镀膜箱的顶部,自动门驱动机构与自动门机构之间通过齿轮齿条啮合连接。它更加方便地将基板放入真空镀膜箱,且方便地将真空镀膜箱开口侧封闭。
搜索关键词: 一种 设有 后门 镀膜 设备
【主权项】:
1.一种设有前后门的镀膜箱设备,包括镀膜箱(1)、一对自动门机构(2)和自动门驱动机构(3),其特征在于:所述镀膜箱(1)的前后两侧开口,镀膜箱(1)的前后开口侧各安装有一个自动门机构(2),自动门驱动机构(3)安装在镀膜箱(1)的顶部,自动门驱动机构(3)与自动门机构(2)之间通过齿轮齿条啮合连接;所述自动门机构(2)包括门板(21)、一对直角滑轨(22)和升降齿条(23),一对直角滑轨(22)分别固定在镀膜箱(1)的左右两侧,门板(21)与直角滑轨(22)活动配合连接,门板(21)的上部铰接在升降齿条(23)上,镀膜箱(1)的前侧的升降齿条(23)套接在位于镀膜箱(1)的前侧右端的直角滑轨(22)上,镀膜箱(1)的后侧的升降齿条(23)套接在位于镀膜箱(1)的后侧左端的直角滑轨(22)上;所述自动门驱动机构(3)包括驱动电机(31),驱动电机(31)通过电机支架固定在镀膜箱(1)的顶端,驱动电机(31)的输出轴固定连接有小锥齿轮(32),小锥齿轮(32)的左右两侧各啮合有一个大锥齿轮(33),小锥齿轮(32)左侧的大锥齿轮(33)固定在第一连接轴(34)的左端,第一连接轴(34)的右端固定连接有升降驱动齿轮(35),小锥齿轮(32)右侧的大锥齿轮(33)固定在第二连接轴(36)的右端,第二连接轴(36)的左端固定连接有同步带轮(37),同步带轮(37)通过皮带向后连接有第二个同步带轮(37),第二个同步带轮(37)固定在第三连接轴(38)的右端,第三连接轴(38)的左端固定连接有第二个升降驱动齿轮(35),第三连接轴(38)的中部铰接在第二支架(392)上,第一连接轴(34)的中部和第二连接轴(36)的中部铰接在第一支架(391)上,第一支架(391)和第二支架(392)固定在镀膜箱(1)的顶部;固定在第一连接轴(34)上的升降驱动齿轮(35)与位于镀膜箱(1)的前侧右端的升降齿条(23)啮合,固定在第三连接轴(38)上的升降驱动齿轮(35)与位于镀膜箱(1)后侧左端的升降齿条(23)啮合。
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