[发明专利]带聚酰亚胺垫层的帧转移可见光CCD在审
| 申请号： | 201610993256.6 | 申请日： | 2016-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN106449689A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 张故万;罗春林;伍明娟 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 |
| 主分类号： | H01L27/148 | 分类号： | H01L27/148 |
| 代理公司： | 重庆辉腾律师事务所50215 | 代理人： | 侯懋琪;侯春乐 |
| 地址： | 400060 重庆*** | 国省代码： | 重庆;85 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种带聚酰亚胺垫层的帧转移可见光CCD，所述帧转移可见光CCD由衬底层、二氧化硅层、氮化硅层、多晶硅层、硼磷硅玻璃层、氮化钛层、钛层、铝层和聚酰亚胺垫层组成；本发明的有益技术效果是：提出了一种带聚酰亚胺垫层的帧转移可见光CCD，通过在铝层和氮化钛层之间加入钛层，有效提高了铝层与下层结构的附着性，避免了起层现象出现。 | ||
| 搜索关键词： | 聚酰亚胺 垫层 转移 可见光 ccd | ||
【主权项】：
一种带聚酰亚胺垫层的帧转移可见光CCD，其特征在于：所述帧转移可见光CCD由衬底层（1）、二氧化硅层（2）、氮化硅层（3）、多晶硅层（4）、硼磷硅玻璃层（5）、氮化钛层（6）、钛层（7）、铝层（8）和聚酰亚胺垫层（9）组成；所述衬底层（1）、二氧化硅层（2）、氮化硅层（3）、多晶硅层（4）、硼磷硅玻璃层（5）、氮化钛层（6）、钛层（7）、铝层（8）和聚酰亚胺垫层（9）依次层叠在一起形成帧转移可见光CCD。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
