[发明专利]一种控制CCGA器件焊柱共面性、位置度及垂直度的工装及方法在审
申请号: | 201610986356.6 | 申请日: | 2016-11-09 |
公开(公告)号: | CN106564002A | 公开(公告)日: | 2017-04-19 |
发明(设计)人: | 唐超;姚全斌;王勇;练滨浩;林鹏荣;黄颖卓 | 申请(专利权)人: | 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 |
主分类号: | B24B37/04 | 分类号: | B24B37/04;B24B37/30 |
代理公司: | 中国航天科技专利中心11009 | 代理人: | 庞静 |
地址: | 100076 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种控制CCGA器件焊柱共面性、位置度及垂直度的工装及方法,首先,将陶瓷柱栅阵列器件的焊柱插入焊柱保持板中,通过焊柱研磨量控制框控制焊柱从焊柱保持板冒出的长度,然后将器件紧固压块等部件依次安装好,最后轻轻拧紧固螺钉,保证器件与焊柱保持网板和焊柱研磨量控制框的紧密配合,然后利用研磨设备将焊柱冒出焊柱保持网板的部分去除,再对研磨面进行抛光,通过这种方式改善焊柱的共面性,同时通过焊柱保持网板改善焊柱的位置度和垂直度。本发明的工具和方法可将焊柱共面性控制在50μm以内,焊柱位置度控制在100μm以内,焊柱垂直度控制在1°以内,远优于未使用本方法的同类器件。 | ||
搜索关键词: | 一种 控制 ccga 器件 焊柱共面性 位置 垂直 工装 方法 | ||
【主权项】:
一种控制CCGA器件焊柱共面性、位置度及垂直度的工装,其特征在于包括:焊柱保持网板(1)、研磨座(3)、焊柱研磨量控制框(8)、研磨盖(4)器件紧固压块(7)和紧固螺钉(5),其中,焊柱保持网板(1)固定安装到研磨座(3)上,焊柱保持网板(1)加工有位置与陶瓷柱栅阵列器件焊柱一一对应的通孔,用于插入陶瓷柱栅阵列器件焊柱;焊柱研磨量控制框(8)放置在焊柱保持网板(1)上方,使陶瓷柱栅阵列器件位于焊柱研磨量控制框(8)内部;研磨盖(4)固定安装在研磨座(3)上,器件紧固压块(7)位于陶瓷柱栅阵列器件和研磨盖(4)中间,通过紧固螺钉(5)穿过研磨盖(4)顶住器件紧固压块(7)固定陶瓷柱栅阵列器件。
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