[发明专利]一种具有高硬度和高减摩性能的纳米涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201610979551.6 | 申请日： | 2016-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN106521438A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 李伟;刘京京;刘平;张柯;马凤仓;刘新宽;陈小红;何代华 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明一种具有高硬度和高减摩性能的纳米涂层，在基体上通过多靶磁控溅射方式交替溅射沉积形成CrAlN纳米层和WS2纳米层，靠近基体为CrAlN纳米层，最外侧的一层为WS2纳米层，CrAlN/WS2纳米多层涂层的总厚度2.0‑4.5μm，每一CrAlN纳米层厚度5.0nm，每一WS2纳米层厚度0.4‑1.2nm。还提供了上述纳米涂层的制备方法，将清洗后的基体置入多靶磁控溅射仪中，在氩、氮混合气氛中交替停留在CrAl合金靶和WS2靶之前，通过调整CrAl靶和WS2靶的功率和沉积时间以控制每一涂层的厚度，最终得CrAlN/WS2纳米多层涂层，本发明的方法具有工艺简单、沉积速度快、成本低、生产效率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 硬度 高减摩 性能 纳米 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有高硬度和高减摩性能的纳米涂层，其特征在于：在基体上通过多靶磁控溅射的方式交替溅射沉积形成CrAlN纳米层和WS2纳米层，靠近基体的一层为CrAlN纳米层，最外侧的一层为WS2纳米层；所述基体为金属、硬质合金或陶瓷。
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