[发明专利]一种在金属材料表面镀膜获得耐高温涂层的铝钛钨三元合金靶材及其制备方法

摘要

一种在金属材料表面镀膜获得耐高温涂层的铝钛钨三元合金靶材及其制备方法。一种铝钛钨合金靶材的制备方法，该铝钛钨靶材由以下原子百分比的原料制成：铝粉60％～70％，钛粉30～40％，钨粉1～10％。本发明还包括铝钛钨合金靶材的粉末热压烧结和真空热处理方法。本发明利用铝粉、钛粉的活性，在真空条件下与钨粉实现烧结成形，然后再在高温下真空长时间退火，利用铝原子和钛原子的均匀化扩散作用，实现和添加的元素钨之间的冶金结合，在温度和压力的共同作用下，该靶材致密度高，提高了粉末烧结的效果，简化了生产工艺，是一种短流程、易操作的靶材生产过程，有利于提高生产效率。

主权项

1.一种在金属材料表面镀膜获得耐高温涂层的铝钛钨三元合金靶材，其特征在于；所述铝钛钨三元合金靶材，以原子百分比计由下述组分组成：/n铝 60%~70%；/n钛 30~40%；/n钨 1~10%；/n杂质含量小于0.05%；/n所述铝钛钨三元合金靶材的致密度大于等于99%；/n所述铝钛钨三元合金靶材由下述步骤制备：/n步骤一/n按靶材成分配比称取铝粉、钛粉和钨粉，混合均匀后，得到混合粉末；/n步骤二/n将步骤一所得混合粉末置于模具中，连同模具一起放置在真空热压机中，在真空气氛或保护气氛下从室温开始升温到400~500℃，进行第一次保温，第一次保温时控制压力为10~30MPa；然后继续升温到700℃~800℃，进行第二次保温，第二次保温时控制压力为10~50MPa；继续升温到1000℃~1500℃，进行第三次保温，第三次保温时控制压力为20~100MPa；然后开始降温并逐渐将压力从第三次保温时的压力降低到10MPa，冷却到室温，卸除压力，脱模；得到烧结样；/n步骤三/n将步骤二所得烧结样置于热处理炉中，在300~600℃温度下均匀化退火至少24小时，得到所述铝钛钨三元合金靶材。/n