[发明专利]一种基于MEMS的海洋湍流传感器在审
| 申请号： | 201610976107.9 | 申请日： | 2016-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN106289624A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 杨华;白兴旺;宋大雷;王向东 | 申请（专利权）人： | 中国海洋大学 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 北京中北知识产权代理有限公司11253 | 代理人： | 段秋玲 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于MEMS的海洋湍流传感器，是基于MEMS感测原理来实现海洋湍流信号采集的。其包括传感单元和信号处理单元，所述传感单元为压阻式膜梁结构，包括中央硅膜、敏感梁和支撑基，所述中央硅膜为薄片状硅基材料，所述敏感梁的一端与中央硅膜连接，敏感梁另一端与支撑基内侧边相连，所述敏感梁表面设有四个压敏电阻R1、R2、R3、R4，四个压敏电阻根据所在区域的应力分布规律进行布置，连接成一个惠斯通电桥，所述信号处理单元可自动处理信号并计算得到所需数据。本发明的有益效果在于采用了基于压阻式感测原理的MEMS梁膜结构，在灵敏度增强的同时也提高了传感器的响应速度；应用MEMS微型化设计制造工艺，减小了传感器的核心部件尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 海洋 湍流 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS的海洋湍流传感器，其特征在于：包括传感单元和信号处理单元，所述传感单元为压阻式膜梁结构，包括中央硅膜、敏感梁和支撑基，所述中央硅膜为薄片状硅基材料，所述敏感梁的一端与中央硅膜连接，敏感梁另一端与支撑基内侧边相连，所述敏感梁表面设有四个压敏电阻R1、R2、R3、R4，四个压敏电阻根据所在区域的应力分布规律进行布置，连接成一个惠斯通电桥，所述信号处理单元可自动处理信号并计算得到所需数据。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国海洋大学，未经中国海洋大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610976107.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
