[发明专利]一种改良的氧化铟透明导电薄膜退火方法有效
| 申请号： | 201610968518.3 | 申请日： | 2016-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN106521415B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 沈辉;姚志荣;李圣浩;王学孟 | 申请（专利权）人： | 中山大学;顺德中山大学太阳能研究院 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/58;C23C16/40;C23C16/56 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 510275 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改良的氧化铟透明导电薄膜退火方法，包括在气体氛围下对氧化铟透明导电薄膜进行退火处理，所述的气体氛围选自高纯氢气、水蒸气、氮气氢气混合气、一氧化碳、水蒸气空气混合气中的一种或多种。在使用本方法进行退火处理后，氧化铟透明导电薄膜的电阻率得到较大降低，且其在300~1200nm波段的透射率得到明显提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改良 氧化 透明 导电 薄膜 退火 方法 | ||
【主权项】：
一种改良的氧化铟透明导电薄膜退火方法，其特征在于：在气体氛围下对氧化铟透明导电薄膜进行退火处理，所述的气体氛围选自高纯氢气、水蒸气、氮气氢气混合气、一氧化碳、水蒸气空气混合气中的一种或多种。
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