[发明专利]自动进料系统及进料方法在审
| 申请号： | 201610953027.1 | 申请日： | 2016-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN108018602A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 汪燕;刘源 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 余昌昊 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种自动进料系统及进料方法，通过进料口向坩埚内进行填料，并且在填料过程中，通过液压缸的上下运动使所述坩埚产生摇摆，令所述坩埚中所填的料分布均匀。进一步的，监控装置对称重称的读数进行监测以控制该填料过程，若填料过程完成，关闭所述进料口，控制所述坩埚和/或所述多个进料口相对移动使所述坩埚对位于下一个进料口，继续向所述坩埚内填料。本发明提供的自动进料系统及进料方法能够避免人工填料时因操作不当造成坩埚破裂以及所填的料容易被杂质金属污染的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 进料 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种自动进料系统，其特征在于，所述自动进料系统包括：称重称、坩埚以及多个进料口；其中，所述坩埚设置于所述称重称上；所述称重称和所述多个进料口之间能够相对移动，以使所述多个进料口分时对位于设置在所述称重称上的所述坩埚。
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