[发明专利]可变磁浮力重力补偿器有效
| 申请号： | 201610876576.3 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107885039B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 季汉川;杨晓峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可变磁浮力重力补偿器，所述重力补偿器包括：依次从内到外同心设置的调节磁铁、中心柱磁铁、外环磁铁和外环磁铁外壳、以及调节磁铁垂向驱动机构，其中所述调节磁铁设置在所述中心柱磁铁的中心孔中并且其一端安装在所述调节磁铁垂向驱动机构上，所述调节磁铁与所述中心柱磁铁充磁方向相反，所述调节磁铁垂向驱动机构用于调节所述调节磁铁相对于中心柱磁铁的垂向位移以调节所述重力补偿器的磁浮力。本发明的可变磁浮力重力补偿器通过增加垂向调节磁铁能够在不影响水平向行程的条件下提供50％的大范围无极可调磁浮重力补偿力，大大增加了重力补偿器的应用范围和灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 可变 浮力 重力 补偿 | ||
【主权项】：
1.一种可变磁浮力重力补偿器，其特征在于，包括从内到外依次同心设置的调节磁铁、中心柱磁铁、外环磁铁和外环磁铁外壳，其中所述调节磁铁设置在所述中心柱磁铁的中心孔中并且其一端安装在所述调节磁铁垂向驱动机构上，所述调节磁铁与所述中心柱磁铁垂向充磁且充磁方向相反，所述外环磁铁径向充磁；还包括调节磁铁垂向驱动机构，通过调节所述调节磁铁垂向驱动机构调节所述调节磁铁相对于中心柱磁铁的垂向位移以调节所述重力补偿器的磁浮力。
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