[发明专利]一种工件台移入移出装置有效
| 申请号： | 201610873647.4 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107885037B | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 丛国栋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种工件台移入移出装置，包括用于支撑工件台的底部框架、设于所述底部框架的下表面的空气弹簧、工件台移动时产生支撑工件台的气浮的气垫单元以及设于所述底部框架上的移入移出单元，所述移入移出单元包括：滚轮单元，用于带动所述工件台移动；连接块，固设于所述底部框架上；板簧，其中一端连接所述连接块，另一端连接所述滚轮单元；板簧变形驱动单元，与所述板簧连接，移动所述工件台时通过驱动所述板簧变形使得所述滚轮单元与地面接触。通过设置板簧变形驱动单元，使板簧发生形变，在工件台移入移出时，使滚轮单元与地面接触，带动工件台移动，且不会出现转矩过大而卡死的现象，提高了工件台移入移出过程中的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 移入 移出 装置 | ||
【主权项】：
1.一种工件台移入移出装置，其特征在于，包括用于支撑工件台的底部框架、设于所述底部框架的下表面的空气弹簧、工件台移动时产生支撑工件台的气浮的气垫单元以及设于所述底部框架上的移入移出单元，所述移入移出单元包括：/n滚轮单元，用于带动所述工件台移动；/n连接块，固设于所述底部框架上；/n板簧，其中一端连接所述连接块，另一端连接所述滚轮单元；/n板簧变形驱动单元，位于所述连接块和所述滚轮单元之间且在靠近所述滚轮单元的位置与所述板簧连接，所述板簧变形驱动单元包括固设于所述板簧上的气缸缸体、设于所述气缸缸体内且可伸缩的气缸活塞杆以及与所述气缸活塞杆顶端连接的施力滚轮，所述施力滚轮在移动所述工件台时与所述底部框架接触，并将所述气缸缸体的作用力施加在所述底部框架上，进而驱动所述板簧变形使得所述滚轮单元与地面接触。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司，未经上海微电子装备(集团)股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610873647.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
