[发明专利]一种金属化薄膜加工用加厚镀膜装置有效
| 申请号： | 201610840515.1 | 申请日： | 2016-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN106244996B | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 沈艺辉 | 申请（专利权）人： | 铜陵市铜创电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 244000 安徽省铜陵市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种金属化薄膜加工用加厚镀膜装置，按照工艺流程从前至后依次预热机构、第一蒸发镀膜装置、第二蒸发镀膜装置；所述预热机构包括连杆传动机构、加热器、第一伸缩装置；所述第一蒸发镀膜装置包括第一蒸镀鼓、第一蒸发舟；所述第一蒸发舟设置在所述第一蒸镀鼓的下方；所述第一蒸发舟的顶部开口区域设置有调节所述第一蒸发舟开口大小的第一活动板组件；所述第二蒸发镀膜装置包括屏蔽装置、第二蒸发舟、第二蒸镀鼓，所述第二蒸发舟设置在所述第二蒸镀鼓的下方；所述屏蔽装置用以限定从所述第二蒸发舟的开口处蒸发出的金属落在绝缘薄膜上的宽度、区域。本发明具有预热均匀、预热量可调、适用多种型号膜的加工、镀膜厚度可调的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属化 薄膜 工用 加厚 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种金属化薄膜加工用加厚镀膜装置，按照工艺流程从前至后依次预热机构、第一蒸发镀膜装置、第二蒸发镀膜装置；其特征在于：所述预热机构包括连杆传动机构、加热器、第一伸缩装置；所述连杆传动机构包括固定杆、传动杆；所述固定杆中位置较高的一端通过第二升降机构设置在真空室的内顶壁上，所述固定杆中位置较低的一端与所述传动杆中位置较高的一端铰接，所述传动杆中位置较低的一端安装有所述加热器；所述第一伸缩装置的固定端铰接在所述第二升降机构与所述固定杆的连接区域上，所述第一伸缩装置的另一端与所述传动杆铰接；所述第一蒸发镀膜装置包括第一蒸镀鼓、第一蒸发舟；所述第一蒸发舟设置在所述第一蒸镀鼓的下方；所述第一蒸发舟的顶部开口区域设置有调节所述第一蒸发舟开口大小的第一活动板组件；所述第二蒸发镀膜装置包括屏蔽装置、第二蒸发舟、第二蒸镀鼓，所述第二蒸发舟设置在所述第二蒸镀鼓的下方；所述屏蔽装置用以限定从所述第二蒸发舟的开口处蒸发出的金属落在绝缘薄膜上的宽度、区域。
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