[发明专利]一种太阳电池用带硅片的微液滴刻蚀制绒方法

摘要

本发明公开了一种太阳电池用带硅片的微液滴刻蚀制绒方法，通过密布在带硅片表面的混合酸溶液微液滴与硅化学反应来刻蚀多晶带硅片表面，可以在制绒过程速率不低于现行混合酸溶液湿法刻蚀制绒的条件下解决太阳电池用带硅片的表面制绒问题。而且本发明的微液滴刻蚀制绒方法使刻蚀反应仅在表面有微液滴处发生，有很强的选择性，可以对难于制绒的带硅表面进行制绒，形成高质量的绒面，使表面平均光反射率减低到16.5～19%水平。

主权项

一种太阳电池用带硅片的微液滴刻蚀制绒方法，其特征为：是通过密布多晶带硅片表面的混合酸溶液微液滴与带硅表面进行化学反应来刻蚀制绒的方法。