[发明专利]一种设有新型送膜机构的金属化薄膜真空镀膜装置

摘要

本发明提供一种设有新型送膜机构的金属化薄膜真空镀膜装置，包括真空镀膜室和设于真空镀膜室内的蒸镀鼓，所述蒸镀鼓的左侧固定安装有送膜机构，所述冷却转鼓的右侧固定安装有收卷机构，所述冷却转鼓的下方设有两个蒸镀坩埚，所述送膜机构包括竖立的基板、设于基板上的卷轴安装座、可转动的固定于卷轴安装座上的送膜卷轴以及驱动送膜卷轴转动的驱动件。本发明与现有技术相比，具有以下有益效果：可快速更换金属化薄膜，固定装置拧紧或松开可实现上支承座绕下支承座左端的销轴上下旋转，实现薄膜开卷辊支承机构上下打开或封闭，快速实现送膜卷轴的更换。

主权项

一种设有新型送膜机构的金属化薄膜真空镀膜装置，包括真空镀膜室（53）和设于真空镀膜室（53）内的蒸镀鼓，所述蒸镀鼓的左侧固定安装有送膜机构，所述冷却转鼓的右侧固定安装有收卷机构，所述冷却转鼓的下方设有两个蒸镀坩埚，其特征在于：所述送膜机构包括竖立的基板（14）、设于基板（14）上的卷轴安装座（15）、可转动的固定于卷轴安装座（15）上的送膜卷轴（16）以及驱动送膜卷轴（16）转动的驱动件，所述基板（14）上还设有多个固定张紧辊（18）以及浮动杆（17），所述浮动杆（17）的一端铰接于基板（14）上，另一端为活动端，所述浮动杆（17）上设有活动张紧辊（19），所述活动张紧辊（19）位于两个相邻的固定张紧辊（18）的中轴连线的中点下方，还包括有支撑机构，所述支撑机构包括下支承座（22）、上支承座（23）和固定装置，所述上支承座（23）上设置有开口朝下的上半圆槽，所述下半圆槽和上半圆槽的直径相同，所述上支承座（23）左端通过销轴铰连接于下支承座（22）的左端，所述固定装置包括支座（24）、支杆（25）和固定把手（27），所示支杆（25）一端固定于支座（24）上，所述支杆（25）另一端螺纹连接有固定把手（27），所述固定装置的支座（24）通过销轴铰连接于下支承座（22）的右端，所述上支承座（23）右端设置有上下贯穿的槽口。