[发明专利]一种硬度宽变的耐磨涂层及其制备方法及应用有效
| 申请号： | 201610830915.4 | 申请日： | 2016-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN106381471B | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 黄峰;李朋;贾丛丛;葛芳芳;朱萍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硬度宽变的耐磨涂层及其制备方法，所述的耐磨涂层的组成为CrxSiyN1‑x‑y，其中x＝0.45～0.55，y＝0.03～0.15，x,y为原子比率；所述的耐磨涂层呈长短不一的柱状晶生长结构，每个柱状晶的宽度为40～150nm，柱状晶的长宽比为15～55，沿涂层生长方向，在所述柱状晶长度的30～75％处出现了分离存在孔隙，孔隙宽度为2～10nm。所述的耐磨涂层的硬度可在较大范围内变动，而所述的耐磨涂层的耐磨性几乎不受影响。所述的耐磨涂层可应用于摩擦传动部件。由于所述的耐磨涂层硬度在较大范围内可调，可使主副摩擦部件保持同样的硬度，这样不会由于硬度的差异，使得较低硬度的部件易被磨损，进而改善主副摩擦部件之间的融合性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硬度 耐磨 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种硬度宽变的耐磨涂层，其特征在于，所述的耐磨涂层的组成为CrxSiyN1‑x‑y，其中x＝0.45～0.55，y＝0.03～0.15，x,y为原子比率；所述的耐磨涂层呈长短不一的柱状晶生长结构，每个柱状晶的宽度为40～150nm，柱状晶的长宽比为15～55，沿涂层生长方向，在所述柱状晶长度的30～75％处出现了分离存在孔隙，孔隙宽度为2～10nm；所述耐磨涂层采用磁控反应溅射法制备，具体步骤包括：(1)基体清洗；(2)连接电源：将Si靶与射频辅助的直流电源相连，Cr靶与中频电源相连；(3)涂层沉积：将清洗后的基体装入真空腔室中，当腔室的真空度为5.6×10‑6～5×10‑5Pa时，充入氩气与氮气的混合气体，并控制总气压为0.5～1.0Pa，调整靶材的溅射功率密度为3.6～8.5W/cm2，之后开启样品挡板，对基体的表面进行沉积，得到具有硬度宽变的耐磨涂层。
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