[发明专利]相位载波式激光干涉仪闭环解调算法的残差补偿方法有效
申请号: | 201610821010.0 | 申请日: | 2016-09-13 |
公开(公告)号: | CN106247930B | 公开(公告)日: | 2018-12-07 |
发明(设计)人: | 温强;刘鹏飞;廖为桂;李立 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工程大学 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本发明提供的是一种相位载波式激光干涉仪闭环解调算法的残差补偿方法。将干涉光信号与外加的载波信号相乘、低通滤波、作除、反正切得到系统残差,将系统残差与闭环解调出的相位信号加权求和,以此修正测量结果。相位载波式激光干涉仪闭环解调过程中,系统会因扰动因素或跟踪能力的限制,而存有不同程度的残差。本发明具有相位调制将官干涉信号闭环解调方法的优点,同时还具有更高的解调精度。 | ||
搜索关键词: | 相位 载波 激光 干涉仪 闭环 解调 算法 补偿 方法 | ||
【主权项】:
1.一种相位载波式激光干涉仪闭环解调算法的残差补偿方法,其特征是:相位载波式激光干涉信号经过光电转换后分别与G cosω0t和H cos2ω0t作乘法运算,其中:ω0为相位调制频率,G、H分别为外加载波的幅值;利用低通滤波器滤除含有ω0的交流分量,得到
和
其中:B为干涉后光强的交流分量,J1(C)、J2(C)分别为与光源调制深度有关的贝塞尔函数展开系数,二者的比值为
C为调制深度;经反正切计算得到闭环解调算法的系统残差
用于补偿闭环相位解调结果。
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