[发明专利]一种减少缺陷形成的静电吸盘及晶圆刻蚀方法

摘要

本发明涉及一种减少缺陷形成的静电吸盘及晶圆刻蚀方法，其中一种减少缺陷形成的静电吸盘包括静电吸盘盘体，所述静电吸盘盘体内镶嵌有磁体，所述磁体在所述静电吸盘盘体的表面形成的磁场，且所述磁场的方向为由静电吸盘盘体的中央指向边缘。本发明通过在静电吸盘盘体内增加磁体已产生由静电吸盘盘体的中央指向边缘的磁场，这样在静电吸盘盘体断电或宕机时，晶圆上方的带点粒子在自身重力和磁场力的作用下会由原来的匀加速直线运动变成回旋漂移运动，减少带点粒子落到晶圆上的概率，从而减少缺陷的形成。

主权项

1.一种减少缺陷形成的静电吸盘，其特征在于：包括静电吸盘盘体(1)，所述静电吸盘盘体(1)内镶嵌有磁体(2)，所述磁体(2)在所述静电吸盘盘体(1)的表面形成的磁场，且所述磁场的方向为由静电吸盘盘体(1)的中央指向边缘；所述磁体(2)分布在所述静电吸盘盘体(1)的中央和边缘，位于所述静电吸盘盘体(1)的中央的磁体(2)的极性为N极，位于所述静电吸盘盘体(1)的边缘的磁体(2)的极性为S极。