[发明专利]一种高导电碳晶板及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201610808601.4 申请日: 2016-09-08
公开(公告)号: CN106231702A 公开(公告)日: 2016-12-14
发明(设计)人: 马西健 申请(专利权)人: 芜湖桑乐金电子科技有限公司
主分类号: H05B3/20 分类号: H05B3/20;H05B3/10;C23C16/26;C23C16/513
代理公司: 北京润平知识产权代理有限公司11283 代理人: 张苗;罗攀
地址: 241000 安徽省芜湖*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种耐高导电碳晶板材及其制备方法,其特征在于所述硬质塑料板和表面沉积厚度20‑1000nm涂层,涂层由以下重量份的原料制成:石墨烯20‑50、NI5‑10、AI5‑10、Ti5‑15、SiC10‑15。本发明还提供了一种方法,包括以下步骤:用去离子水超声清洗硬质塑料板,然后烘干、沉积、高温、退火,借助双频容性耦合等离子体放电技术制成。通过该方法制得的碳晶板材不仅具有耐高导电性,且制备方法简单,原料易得。
搜索关键词: 一种 导电 碳晶板 及其 制备 方法
【主权项】:
一种耐高导电碳晶板,其特征在于由硬质塑料板和涂层组成,涂层由以下重量份的原料制成:石墨烯20‑50、NI 5‑10、AI5‑10、Ti5‑15、SiC10‑15。
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