[发明专利]三氯氢硅生产工艺及系统在审
| 申请号： | 201610732706.6 | 申请日： | 2016-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN107055548A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 齐林喜;赵亮;陈建宇 | 申请（专利权）人： | 内蒙古盾安光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 015543 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 一种三氯氢硅生产系统，包括蒸发器、热氢化炉、冷氢化反应器、过滤器、冷凝器和提纯分离塔，热氢化炉与冷氢化反应器相连，将热氢化后的尾气通入冷氢化反应器内反应；过滤器与冷氢化反应器相连以过滤冷氢化反应器的尾气；蒸发器与热氢化炉、过滤器和冷凝器相连，蒸发器将作为原料的四氯化硅与氢气与过滤后的尾气换热，尾气通入冷凝器；冷凝器将尾气冷凝获得氯硅烷；提纯分离塔将液态氯硅烷分离提纯分离。本发明还提供了一种三氯氢硅生产工艺。本发明的三氯氢硅生产系统及工艺，可以有效利用热氢化尾气余热，并把热氢化产生的副产物氯化氢作为原料参与冷氢化反应，降低电耗，提高原料利用率，降低整体运行成本。 | ||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 生产工艺 系统 | ||
【主权项】：
一种三氯氢硅生产系统，包括蒸发器、热氢化炉、冷氢化反应器、过滤器、冷凝器和提纯分离塔，其中：热氢化炉与冷氢化反应器相连，将热氢化后的尾气通入冷氢化反应器内反应；过滤器与冷氢化反应器相连以过滤冷氢化反应器的尾气；蒸发器与热氢化炉、过滤器和冷凝器相连，蒸发器将作为原料的四氯化硅和氢气与过滤后的尾气换热，加热后的四氯化硅和氢气通入热氢化炉，降温后的尾气通入冷凝器；冷凝器将换热后的尾气冷凝获得液态氯硅烷；提纯分离塔将液态氯硅烷分离提纯分离获得三氯氢硅和四氯化硅。
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