[发明专利]一种六面体垂直误差测量装置及方法

摘要

本发明涉及光学测量技术领域，具体公开一种六面体垂直度误差测量装置及方法。本发明的测量装置用于测量六面体的垂直度误差，具体包括基座、波面干涉仪、平面参考镜、气浮转台、支撑工装、控制箱以及主控器。本发明提供的测量装置和测量方法以波面干涉仪出射的平面波为参考基准，通过比较六面体不同面与平面波之间的倾斜，并利用四边形内角和为360°，通过最小二乘法得到六面体各面之间的垂直度误差。

主权项

一种六面体垂直度误差测量装置，用于测量六面体的垂直度误差，其特征在于，所述测量装置包括基座、波面干涉仪、平面参考镜、气浮转台、支撑工装、控制箱以及主控器；所述波面干涉仪与所述基座固定连接，用于测量所述六面体的面形数据；所述平面参考镜与所述波面干涉仪直接连接，并位于所述波面干涉仪正下方；所述平面参考镜用于产生平面波前；所述气浮转台位于所述平面参考镜下方，并安装于所述基座上，所述气浮转台的转轴与所述波面干涉仪的光轴重合；所述气浮转台用于带动所述六面体360°旋转，实现倾斜调整以及偏心调节；所述支撑工装设置所述气浮转台上方，用于支撑所述六面体；所述控制箱与所述气浮转台连接，用于控制所述气浮转台的旋转；所述主控器分别与所述波面干涉仪以及所述控制箱连接，用于控制所述气浮转台运动，并接收所述波面干涉仪采集的面形数据。