[发明专利]一种硅片平移放置机构在审
申请号: | 201610709922.9 | 申请日: | 2016-08-24 |
公开(公告)号: | CN106206398A | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 屠明州 | 申请(专利权)人: | 屠明州 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 314500 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种硅片平移放置机构,属于光伏加工机械设备领域。该发明包括主平移支架、主平移块、辅平移支架、辅平移块和吸料机构,辅平移支架水平设置在主平移支架上,主平移电机驱动主平移丝杆,主平移块水平螺纹连接于主平移丝杆,主平移导向杆水平穿过主平移块,辅平移电机驱动辅平移丝杆,辅平移块水平螺纹连接于辅平移丝杆,辅平移导向杆水平穿过辅平移块,吸料机构竖直设置在辅平移块一侧,吸料机构包括升降气缸、升降板、吸料板和升降导向杆,吸料板下侧均匀设置有多个真空吸盘。本发明结构设计合理,能够快速高效的将硅片便捷的进行平移并准确放置到所需的位置,满足生产使用的需要。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 平移 放置 机构 | ||
【主权项】:
一种硅片平移放置机构,其特征在于:所述硅片平移放置机构包括主平移支架、主平移块、辅平移支架、辅平移块和吸料机构,所述辅平移支架水平设置在主平移支架上,主平移支架和辅平移支架相互垂直,所述主平移支架一侧中部水平设置有主平移电机,主平移支架中部水平转动连接有主平移丝杆,主平移电机驱动主平移丝杆,主平移块水平螺纹连接于主平移丝杆,主平移支架两侧分别水平设置有主平移导向杆,主平移导向杆水平穿过主平移块,所述辅平移支架水平设置在主平移块上,辅平移支架一端下侧与主平移块之间采用锁紧螺栓进行固定,辅平移支架一侧水平设置有辅平移电机,辅平移支架水平转动连接有辅平移丝杆,辅平移电机驱动辅平移丝杆,辅平移块水平螺纹连接于辅平移丝杆,辅平移支架上水平设置有辅平移导向杆,辅平移导向杆水平穿过辅平移块,吸料机构竖直设置在辅平移块一侧,所述吸料机构包括升降气缸、升降板、吸料板和升降导向杆,升降气缸竖直向下设置在辅平移块一侧,升降板水平设置在升降气缸下端,吸料板水平设置在升降板下侧,吸料板上侧竖直均匀设置有多根升降导向杆,升降导向杆竖直向上穿过升降板,升降导向杆上端设置有限位挡板,升降导向杆上设置有吸料弹簧,吸料板下侧均匀设置有多个真空吸盘。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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