[发明专利]用于MEMS传感器的针对基于时间的光学敏感元件的系统和方法在审
| 申请号： | 201610642260.8 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN106323173A | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | R·D·霍尔宁;G·罗登 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01C19/56;G01P15/03 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 周学斌,张涛 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了用于MEMS传感器的针对基于时间的光学敏感元件的系统和方法。在一个实施例中，一种用于集成波导的基于时间的光学敏感元件传感器的方法包括：将由光源生成的光束发射到在第一基板中单片制造的集成波导光学敏感元件中，集成波导光学敏感元件包括光学输入端、耦合端和光学输出端；以及通过在光学输出端测量光束的衰减，来探测耦合端和与耦合端隔开一间隙的移动传感器部件之间的重叠面积的改变，其中，移动传感器部件关于包括耦合端的第一基板的表面做平面内移动，且耦合端被定位为探测移动传感器部件的边沿的移动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 传感器 针对 基于 时间 光学 敏感 元件 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于集成波导的基于时间的光学敏感元件(120)传感器的方法，该方法包括：将由光源(126)生成的光束发射到在第一基板(110)中单片制造的集成波导光学敏感元件(120)中，集成波导光学敏感元件(120)包括光学输入端(121)、耦合端(123)和光学输出端(125)；以及，通过在光学输出端(125)处测量光束的衰减，来探测耦合端(123)和与耦合端(123)隔开一间隙的移动传感器部件(116)之间的重叠面积的改变，其中，移动传感器部件(116)关于包括耦合端(123)的第一基板(110)的表面做平面内移动，且耦合端(123)被定位为探测移动传感器部件(116)的边沿(201)的移动；以及测量来自光学输出端(125)的振荡光学输出的定时。
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