[发明专利]重工方法及重工系统有效
| 申请号： | 201610618116.0 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN106019864B | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 曹中林;臧鹏程;刘庭良;李挺;陈中龙 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/20 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种重工方法及重工系统，其重工方法包括：光刻胶去除步骤，用于去除待重工基板上的光刻胶；光刻胶检测步骤，用于检测待重工基板是否残留有光刻胶；若是，则返回光刻胶去除步骤；若否，则进行曝光步骤；曝光步骤，用于对待重工基板进行曝光工艺。本发明提供的重工方法，其可以有效防止残留有光刻胶的待重工的基板进入曝光步骤，从而可以避免设备停机和产品不良等一系列重大经济损失。 | ||
| 搜索关键词： | 重工 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种重工方法，其特征在于，包括：/n光刻胶去除步骤，用于去除待重工基板上的光刻胶；/n光刻胶检测步骤，用于检测所述待重工基板是否残留有光刻胶；/n若是，则返回所述光刻胶去除步骤；若否，则进行曝光步骤；/n曝光步骤，用于对所述待重工基板进行曝光工艺；/n其中，所述光刻胶检测步骤包括：/n在所述待重工基板上设置检测区域和空白区域，其中，在该检测区域内形成光刻胶标识；在所述空白区域内没有光刻胶；/n判断所述检测区域内的图形与所述空白区域内的图形是否一致，若不一致，则返回所述光刻胶去除步骤；若一致，则进行所述曝光步骤；/n或者，所述光刻胶检测步骤包括：/n在所述待重工基板上设置检测区域；/n检测所述待重工基板在所述检测区域内的厚度是否超出预设的厚度阈值，若是，则返回所述光刻胶去除步骤；若否，则进行所述曝光步骤；/n或者，所述光刻胶检测步骤包括：/n在所述待重工基板上分别设置检测区域和空白区域；在所述空白区域内没有光刻胶；/n判断所述待重工基板在所述检测区域内的厚度与在所述空白区域内的厚度是否一致，若不一致，则返回所述光刻胶去除步骤；若一致，则进行所述曝光步骤。/n
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