[发明专利]一种探针法测量介质材料表面电位的装置及方法有效
| 申请号： | 201610570393.9 | 申请日： | 2016-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN106198711B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 翁明;李永东;张秀生;刘婉;王芳;曹猛 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/66 | 分类号： | G01N27/66 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种探针法测量介质材料表面电位的装置及方法，测量装置包括置于高真空系统中脉冲电子枪、金属筒状收集极、探针、样品以及平板金属样品托；金属筒状收集极顶部开设有圆孔，脉冲电子枪发出的入射电子束穿过金属筒状收集极顶部圆孔垂直照射到样品上，样品与下方的平板金属样品托紧密相贴并通过电阻R1接地；金属筒状收集极连接外加电源，探针与样品紧密相贴，并且位于样品以及脉冲电子枪发出的电子束斑点的中央，探针连接示波器；在测量装置中，增加了一个金属探针，配合二次电子发射系数与探针偏压关系曲线的测量过程，完成样品表面电位的测量，该系统不仅结构简单，成本低，而且测量方法简便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 测量 介质 材料 表面 电位 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种探针法测量介质材料表面电位的装置，其特征在于：包括置于高真空系统中脉冲电子枪(1)、金属筒状收集极(2)、探针(3)、样品(4)以及平板金属样品托(5)；金属筒状收集极(2)顶部开设有圆孔，脉冲电子枪(1)发出的入射电子束穿过金属筒状收集极(2)顶部圆孔垂直照射到样品(4)上，样品(4)与下方的平板金属样品托(5)紧密相贴并通过电阻R1接地；金属筒状收集极(2)连接外加电源，探针(3)与样品(4)紧密相贴，并且位于样品(4)以及脉冲电子枪(1)发出的电子束斑点的中央，探针(3)连接示波器；探针(3)经过开关(Kp)与外加电源连接，探针加负偏压，流过探针(3)的电流Ip经过电阻Rp后用示波器测出；所述探针(3)直径为0.1～0.5mm，探针长度为2～5cm。
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