[发明专利]错误检测和分类匹配方法及系统

摘要

从腔室接收原始数据。基于接收的原始数据，检测腔室的操作中是否存在错误。检测包括以下概述的至少一个操作。基于腔室的原始数据，生成与腔室分别对应的西格玛值。做出确定以确定与西格玛值对应的西格玛比率是否小于阈值。在西格玛比率小于阈值的情况下，通过对腔室执行平均匹配工艺，生成与腔室分别对应的平均离群值指数。识别腔室中的具有第一平均离群值指数的最差的第一离群值指数的一个以作为具有错误操作的目标腔室。本发明的实施例还提供了错误检测和分类匹配方法和系统。

主权项

一种错误检测和分类匹配方法，包括：从多个腔室接收原始数据；基于接收的所述腔室的原始数据，检测所述腔室的操作中是否存在错误，其中，所述检测包括以下中的至少一个：基于所述接收的所述腔室的原始数据，生成与所述腔室对应的多个第一西格玛值；在与所述第一西格玛值对应的西格玛比率小于阈值的情况下，通过对所述腔室执行平均匹配工艺，生成与所述腔室对应的多个第一平均离群值指数；以及识别所述腔室中的具有所述第一平均离群值指数的最差的第一平均离群值指数的一个腔室以作为具有错误操作的目标腔室。